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CCD三維掃描系統
該系統用于測量判斷大尺度拼接CCD的平整度。
產品詳情
產品圖片
系統構成:
? YZ CCD成像面內高精度運動掃描機構
? X方向高精度探測器調節機構
? 大尺度,高平整度參考平面
? 運動控制系統
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