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超高真空薄膜X射線譜學系統

該系統可以在超高真空條件下開展薄膜相關的掠入射X射線 譜學實驗。該系統配備有樣品中轉存放臺，樣品可以在不暴露大氣 的情況下，利用真空手提箱或者真空進樣腔室傳遞到樣品中轉存放 臺上。在測試室對薄膜樣品進行掠入射硬X射線吸收/衍射/散射信號 的測量。該系統配置一個高精度六自由度并聯位移平臺，可帶動整個 腔體相對X射線光束線的精密位置調整。

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