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超高真空原位薄膜制備譜學系統
超高真空薄膜X射線譜學系統，可以在超高真空條件下開展薄膜相關的掠入射X射線譜學實驗。該系統配備有樣品中轉存放臺，樣品可以在不暴露大氣的情況下，利用真空手提箱或者真空進樣腔室傳遞到樣品中轉存放臺上。在測試室對薄膜樣品進行掠入射硬X射線吸收/衍射/散射信號的測量。該系統配置一個高精度6自由度并聯位移平臺，可帶動整個腔體相對X射線光束線的精密位置調整。
- 產品詳情
- 產品圖片
六自由度并聯平臺參數
運 動 維 度? ：X、Y、Z、α、β、Ψ
X、Y? ?行程 ：±8mm、±8mm
Z? ? ? ? ? ?行程 ：±9mm
α、β行程 ：±3°
Ψ? ? ? ? ?行程 ：±5°
推進設備分辨率：1μm
X、Y運動精度：5μm
Z運動精度：3μm
X、Y重復運動精度：3μm
Z重復運動精度：2μm
α、β運動精度：0.069mrad
X、Y移動速度：1mm/s
Z移動速度：2mm/s
負載（水平）：100Kg
斷電保持力：20Kg
質量：10.5Kg
尺寸（直徑*高度）：390*310mm
特點
·?超高真空實驗環境
·?樣品變溫測試環境（300K~1000K）
·?XAFS實驗（TEY全電子產額模式和PFY熒光產額模式可同時進行）
·?GIXRD掠入射衍射實驗
·?超高真空條件下樣品傳遞
真空度
樣品切光曲線
