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Design and fabrication of EUV/X-ray focusing systems
我們將根據客戶的應用設計，制造和調整結合各種X射線光學元件的EUV（極紫外光刻）/ X射線光學系統。圖左為球形聚光鏡，圖右為Schwarzschild收藏鏡。
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· 設計和制造各種聚光光學系統/光學系統。
·?Schwarzschild會聚光學器件
·?KB反射鏡
·?球形橢球聚光鏡
·?用于高階諧波的光學系統等。
